在线测温模组-半导体领域测温
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应用领域：单晶硅、多晶硅、真空炉、高温炉、退火炉等。
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在线测温模组 |
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主要技术参数 |
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红外 |
探测器类型 |
非制冷焦平面微热型 |
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像素 |
640×480 |
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像元间距 |
17μm |
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热灵敏度 |
≤0.06℃@F1，300K |
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图像帧率 |
25Hz |
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波长范围 |
7-14um |
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无热化镜头 |
9mm、25mm |
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电动镜头 |
25mm、42mm |
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聚焦方式 |
电动镜头半自动聚焦/单步聚焦，无热化镜头固定焦距 |
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测温性能 |
测温范围 |
-20℃~180℃，100℃~600℃，400℃~1200℃ |
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测温精度 |
±1℃ 或 ±1%（读数范围），取最大值 |
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测温模式 |
实时6个可移动点，6个可移动区域，三条可移动线 |
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辐射率校正 |
0.01至1.0辐射率可调 |
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原始图像输出 |
20帧/秒 |
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